一种复合基材及其制备方法
- 申请号：CN201811146713.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学技术大学
- 公开(公开)号：CN109280881A
- 公开(公开)日：2019.01.29
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种复合基材及其制备方法 | ||
| 申请号 | CN201811146713.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN109280881A | 公开（授权）日 | 2019.01.29 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 周意;吕游;尚伦霖;张广安;鲁志斌;刘建北;张志永;丰建鑫 |
| 主分类号 | C23C14/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/02(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种复合基材及其制备方法 至一种复合基材及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本公开提供了一种复合基材，包括：Apical基底；DLC薄膜阻性材料层，形成于所述Apical基底上；金属过渡层，形成于所述DLC薄膜阻性材料层上；铜薄膜层，形成于所述金属过渡层上。本公开还提供了一种复合基材的制备方法，包括：步骤S1：在Apical基底表面溅射沉积DLC薄膜阻性材料层；步骤S2：在所述DLC薄膜阻性材料层表面溅射沉积铬薄膜材料以及铬铜共掺薄膜材料，形成金属过渡层；以及步骤S3：在所述金属过渡层表面溅射沉积铜薄膜层。 | ||
交易流程
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专利 -
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