专利详情

专利名称	一种反射镜姿态变换面形检测装置
申请号	CN201811072001.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN109099858A	公开（授权）日	2018.12.28
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张美君;楚广生;田浩南;洪永丰;张保
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种反射镜姿态变换面形检测装置至一种反射镜姿态变换面形检测装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及光电测量技术领域，具体公开一种反射镜姿态变换面形检测装置，检测装置包括：机身、第一线性平台、第二线性平台、第三线性平台、气囊减振器、第一转台、第二转台、第三转台、4D干涉仪以及CGH补偿器；通过发送指令控制第一线性平台、第二线性平台、第三线性平台、第一转台、第二转台和第三转台，使4D干涉仪、CGH补偿器和被测反射镜组件分别运动至被测所需的俯仰角和横滚角，且满足合适的空气间隔与偏心要求时，对此状态下的反射镜的面形进行干涉测量；本发明的检测装置可以对具有一定俯仰和横滚角工作状态下的反射镜面形进行动态实时检测，具有结构简单、操作方便、成本低、通用性强的优点。