专利详情

专利名称	一种位置测量传感器和位置测量系统
申请号	CN201811073309.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN109099841A	公开（授权）日	2018.12.28
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	薛金来;聂婷;毕国玲;梁怀丹;张星祥;陈长征
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I;G01C1/00(2006.01)I
专利有效期	一种位置测量传感器和位置测量系统至一种位置测量传感器和位置测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种位置测量传感器包括第一框架、第一PSD探测器、第一激光器和半反半透分束镜，所述第一PSD探测器、所述第一激光器和所述半反半透分束镜均设置在所述第一框架上，所述半反半透分束镜位于所述第一PSD探测器的前端，射向所述第一PSD探测器的激光，一部分透过所述半反半透分束镜射向所述第一PSD探测器，另一部分被所述半反半透分束镜反射出去；本发明还提供了一种基于上述位置测量传感器的位置测量系统，能够实现非接触、高精度实时测量。