专利详情

专利名称	一种电容式压力传感器及其制造方法
申请号	CN201810610616.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN109060229A	公开（授权）日	2018.12.21
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	王军波;魏秋旭;谢波;鲁毓岚;陈德勇;陈健
主分类号	G01L9/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01L9/12(2006.01)I;G01L1/14(2006.01)I
专利有效期	一种电容式压力传感器及其制造方法至一种电容式压力传感器及其制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种电容式压力传感器，包括衬底层、绝缘层、器件层以及封装层。其中，衬底层具有可动极板区；绝缘层位于衬底层上方，绝缘层包括第一腔体，第一腔体位于可动极板区的上方，并贯穿绝缘层；器件层位于绝缘层上方，器件层包括固定极板区，固定极板区位于第一腔体上方，固定极板区具有贯穿器件层的多个微孔；以及封装层位于器件层上方，封装层包括第二腔体，第二腔体位于固定极板区上方；第一腔体和第二腔体通过多个微孔连通，以形成真空腔。传感器还包括贯穿封装层、器件层和绝缘层的第一引线孔；以及，贯穿封装层的第二引线孔；并且第一引线孔和第二引线孔均位于真空腔外侧。本发明还提供一种制造电容式压力传感器的方法。