专利详情

专利名称	光刻投影物镜热像差的快速仿真方法
申请号	CN201810603730.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108873615A	公开（授权）日	2018.11.23
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	诸波尔;李思坤;王向朝;步扬;杨朝兴;唐锋
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光刻投影物镜热像差的快速仿真方法至光刻投影物镜热像差的快速仿真方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光刻投影物镜热像差快速仿真方法，分为镜片表面光强仿真、镜片温度分布仿真和热像差仿真三个过程。镜片表面光强仿真过程先设定照明方式和掩模图形等参数，然后仿真光瞳面光强分布，通过光瞳映射的方式得到镜片表面光强分布；镜片温度分布仿真过程通过对投影物镜镜片进行平板近似，根据推导的温度分布公式快速仿真镜片温度分布；热像差仿真过程通过计算镜片热折边和热形变引起的光程差变化，拟合得到投影物镜热像差。本发明实现了光刻投影物镜热像差的快速仿真。