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超导腔电抛光系统及电抛光方法

  • 申请号:CN201810696448.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院高能物理研究所
  • 公开(公开)号:CN108866617A
  • 公开(公开)日:2018.11.23
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 超导腔电抛光系统及电抛光方法
申请号 CN201810696448.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN108866617A 公开(授权)日 2018.11.23
申请(专利权)人 中国科学院高能物理研究所 发明(设计)人 靳松;贺斐思;张沛;高杰;戴劲;翟纪元;刘振超;宫殿君
主分类号 C25F3/16(2006.01)I IPC主分类号 C25F3/16(2006.01)I;C25F7/00(2006.01)I
专利有效期 超导腔电抛光系统及电抛光方法 至超导腔电抛光系统及电抛光方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提出一种超导腔电抛光系统,包括支撑部、电极管、电解液转储罐、新电解液存储罐、旧电解液存储罐及清洗液存储罐;支撑部旋转支撑超导腔,超导腔的两端均设有溢出口;电极管的一端设有电解液入口并固定于支撑部,伸入超导腔内且沿轴向设有至少一个出电解液口;电解液转储罐通过第一输出管道连通至电解液入口,通过第一输入管道连通至溢出口使电解液能够在电解液转储罐、电极管以及超导腔内循环;新电解液存储罐通过第二输出管道连通至电解液转储罐;旧电解液存储罐通过第三输出管道连通至电解液转储罐,并通过第二输入管道连通至电解液转储罐;清洗液存储罐通过出水管道连通至电解液入口和溢出口。使用该系统能减少电解液的用量。

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