专利详情

专利名称	用于真空环境中的多功能处理装置
申请号	CN201710269763.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108728800A	公开（授权）日	2018.11.02
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	高鸿钧;任俊海;郇庆
主分类号	C23C14/26(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/26(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I;C21D1/773(2006.01)I;C21D1/34(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I
专利有效期	用于真空环境中的多功能处理装置至用于真空环境中的多功能处理装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及用于真空环境中的多功能处理装置。根据一实施例，一种多功能处理装置可包括：金属平台，包括圆筒状侧壁和封盖圆筒状侧壁的一端的平台层，所述平台层的中央部分处具有开口以用于容纳样品架，所述金属平台上具有第一电极以用于向所述金属平台施加电压；绝缘筒，设置在所述金属平台下侧；水冷筒，设置在所述绝缘筒下侧，所述绝缘筒将所述金属平台和所述水冷筒彼此绝缘地物理连接在一起；以及灯丝，设置在所述金属平台、所述绝缘筒和所述水冷筒定义的筒状空间内并且正对着所述开口，所述灯丝的两端分别连接到两根螺杆电极，所述两根螺杆电极安装到绝缘板上，所述绝缘板固定到所述水冷筒的下侧。