专利详情

专利名称	一种润滑/导电双功能NbSe₂薄膜的低温制备方法
申请号	CN201810261644.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108517499A	公开（授权）日	2018.09.11
申请（专利权）人	中国科学院兰州化学物理研究所	发明（设计）人	郝俊英;刘金玉;徐书生;刘维民
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I
专利有效期	一种润滑/导电双功能NbSe₂薄膜的低温制备方法至一种润滑/导电双功能NbSe₂薄膜的低温制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种润滑/导电双功能NbSe2薄膜的低温制备方法。该方法采用氩气（纯度为99.99%）为溅射气体，NbSe2（纯度为99.9%）为溅射靶材，射频电源为溅射源，制备润滑/导电双功能NbSe2薄膜。此方法实现了薄膜的低温快速沉积。该固体薄膜结构均匀致密，且膜?基结合强度较好，具备良好的择优取向，在大气环境下（30%RH、20℃）具有优异的摩擦学性能(摩擦系数约为0.033)和良好的导电性能（静态接触电阻约为1.76×10?3Ω·cm），在动态接触滑动模式下依然呈现出优异的润滑/导电双功能。该NbSe2薄膜在电接触滑动部件表面处理领域具有广泛的应用前景。

交易流程

1、源头对接，价格透明

2、平台验证，实名审核

3、合同监控，代办手续

4、专员跟进，交易保障

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