专利详情

专利名称	基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法
申请号	CN201810180567.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108507488A	公开（授权）日	2018.09.07
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	卢云君;唐锋;王向朝;严焱
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法至基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法，检测系统包含：波面测量干涉仪，球面参考镜、汇聚镜、工件台和安装插口，待测锥镜安装在工件台上，其轴线与干涉仪光轴平行，汇聚镜的焦点位于锥镜轴线上，波面测量干涉仪测量锥镜表面法线环带区域的面形，通过工件台在锥镜轴线方向扫描定位，测量对应锥镜不同口径位置的环带面形，完成锥镜全口径面形的测量。具体测量过程：在安装插口安装球面参考镜，将凹锥镜置于工件台上，通过扫描完成凹锥镜面形W1的测量；在安装插口上将球面参考镜更换为汇聚镜，加入凸锥镜，完成凹锥镜和凸锥镜的组合面形W2的测量，凸锥镜的面形为W2?W1。本发明具有测量精度高、测量成本低的特点。