减小飞秒激光直写波导弯曲损耗的方法
- 申请号：CN201810112125.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN108387973A
- 公开(公开)日：2018.08.10
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 减小飞秒激光直写波导弯曲损耗的方法 | ||
| 申请号 | CN201810112125.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN108387973A | 公开（授权）日 | 2018.08.10 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 程亚;刘争明;廖洋;储蔚;齐家;王鹏 |
| 主分类号 | G02B6/125(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/125(2006.01)I |
| 专利有效期 | 减小飞秒激光直写波导弯曲损耗的方法 至减小飞秒激光直写波导弯曲损耗的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种减小飞秒激光直写波导弯曲损耗的方法，本方法的核心包括两个方案：1、在弯曲波导外侧，激光直写并辅助化学刻蚀，刻蚀出空气槽；2、在弯曲波导两侧，激光直写多层产生应力的破坏线。本发明能增加弯曲波导有效折射率，从而减少导波的辐射模，大大降低弯曲损耗，有效减小器件中弯曲波导的弯曲半径，使波导器件结构更加紧凑，对微纳光学中三维光器件集成化、芯片化和光互联等领域具有重要意义。 | ||
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