专利详情

专利名称	束流自适应校正器件及校正电极板
申请号	CN201810139891.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108364839A	公开（授权）日	2018.08.03
申请（专利权）人	中国科学院近代物理研究所	发明（设计）人	于得洋;薛迎利
主分类号	H01J3/12(2006.01)I	IPC主分类号	H01J3/12(2006.01)I
专利有效期	束流自适应校正器件及校正电极板至束流自适应校正器件及校正电极板	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种束流自适应校正器件及校正电极板。该校正器件包括：两个相对设置的校正电极板，该校正电极板包括：绝缘基板；校正电极阵列，分布于绝缘基板之上，包含多个校正电极，多个校正电极之间通过电阻串互相连接在一起；吹风电极阵列，包含多个吹风电极，每个吹风电极分布于校正电极之间，多个吹风电极上可分别加载正负电压，形成空间上排布的正负电场；以及接地电极阵列，包含多个接地电极，每个接地电极分布于吹风电极与校正电极之间。该校正器件能够使出射的带电粒子束保持恒定的出射方向，而不随入射带电粒子束的轨迹变化而发生改变，达到自适应校正补偿，且不受器件几何结构精度、供电系统稳定度及灵敏度等的局限。