可见-短波红外探测器及其制备方法
- 申请号：CN201710062991.X
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号：CN108346713A
- 公开(公开)日：2018.07.31
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 可见-短波红外探测器及其制备方法 | ||
| 申请号 | CN201710062991.X | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN108346713A | 公开（授权）日 | 2018.07.31 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 郑军;成步文;王启明 |
| 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I |
| 专利有效期 | 可见-短波红外探测器及其制备方法 至可见-短波红外探测器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种可见?短波红外探测器及其制备方法，该制备方法包括：在硅衬底背面形成硅可见光探测器的P型和N型掺杂区域；在所述P型和N型掺杂区域上形成保护层；在硅衬底正面外延生长锗锡红外光探测器的锗锡光吸收层；去除所述P型和N型掺杂区域上的保护层，完成制作所述硅可见光探测器和锗锡红外光探测器。本发明不仅可以利用传统Si?CMOS工艺成本低廉、高可靠性等优势，还可以实现真正意义上的光电探测器的单片集成。 | ||
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言