专利详情

专利名称	一种锥形镜锥角的检测装置和方法
申请号	CN201810078326.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108332686A	公开（授权）日	2018.07.27
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	严焱;唐锋;王向朝;卢云君;彭常哲;董冠极
主分类号	G01B11/26(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/26(2006.01)I
专利有效期	一种锥形镜锥角的检测装置和方法至一种锥形镜锥角的检测装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种锥形镜的锥角检测装置，包括干涉仪，球面标准镜，五维调整架，精密移动台，精密位移测量传感器；从所述的干涉仪输出的平面波方向依次是同光轴的球面标准镜，待测锥形镜和精密位移测量传感器；所述待测锥形镜固定在所述五维调整架上，该五维调整架置于所述精密移动台上，该精密位移测量传感器测量所述的精密移动台的移动量，通过移动锥形镜得到两次干涉结果，通过相位差计算出待测锥形镜的锥角。本发明具有装置结构简单，操作方便，测量精度高，通用性高的优点。