专利详情

专利名称	一种调控太赫兹波振幅的调制器及制作方法
申请号	CN201810223513.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108227244A	公开（授权）日	2018.06.29
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	陆亚林;蔡宏磊;黄秋萍
主分类号	G02F1/015(2006.01)I	IPC主分类号	G02F1/015(2006.01)I
专利有效期	一种调控太赫兹波振幅的调制器及制作方法至一种调控太赫兹波振幅的调制器及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种调控太赫兹波振幅的调制器及制作方法，该调制器包括：衬底，所述衬底包括相对设置的上表面和下表面；设置在所述衬底上表面的含有掺杂元素的硅结构阵列，所述硅结构阵列包括多个阵列排布的阵列单元。该调制器中的含有掺杂元素的硅结构阵列同时具有提供电磁共振和对外加光泵浦敏感的两大作用，由于通过外加的飞秒激光对含有掺杂元素的硅结构阵列产生泵浦并激发大量的自由载流子，因此该调制器可以通过控制泵浦激光和太赫兹探测波之间的时间延迟来控制载流子的激发和复合过程，进而实现对太赫兹波振幅的主动调节。