专利详情

专利名称	一种离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正方法
申请号	CN201711315579.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108226205A	公开（授权）日	2018.06.29
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	郝佳龙
主分类号	G01N23/2251(2018.01)I	IPC主分类号	G01N23/2251(2018.01)I;G01N23/203(2006.01)I
专利有效期	一种离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正方法至一种离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种离子或电子扫描成像图像漂移的自适应校正方法，其步骤为：采用一次离子束或电子束直接逐行扫描固体样品获取离子或电子扫描成像图像源图像；根据温度变化，获取离子或电子扫描成像图像漂移图像，建立离子或电子扫描成像图像随温度漂移的漂移模型；通过对漂移模型处理，获得离子或电子扫描成像图像的校正模型，结合温度变化曲线，校正漂移图像；对该自适应校正办法进行评价。