一种碳基薄膜内不同碳纳米结构的调控设计方法
- 申请号：CN201711360853.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院兰州化学物理研究所
- 公开(公开)号：CN108220909A
- 公开(公开)日：2018.06.29
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种碳基薄膜内不同碳纳米结构的调控设计方法 | ||
| 申请号 | CN201711360853.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN108220909A | 公开（授权）日 | 2018.06.29 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 张俊彦;王永富;高凯雄;王彦 |
| 主分类号 | C23C16/26(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/26(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
| 专利有效期 | 一种碳基薄膜内不同碳纳米结构的调控设计方法 至一种碳基薄膜内不同碳纳米结构的调控设计方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种碳基薄膜内不同碳纳米结构的调控设计方法。本发明采用PECVD技术在钢基表面上原位渗氮促进膜基结合力，同时调控参数实现类富勒烯碳、类石墨碳、洋葱碳等纳米结构之间相互转变，并通过引入其它元素气体掺入氮、氢、氟、硫、硅等元素，以提高薄膜与钢基结合力、硬度、表面光滑及超滑性能。 | ||
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