专利详情

专利名称	一种高压干气密封装置用分形织构化碳膜的制备方法
申请号	CN201711360984.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108220911A	公开（授权）日	2018.06.29
申请（专利权）人	中国科学院兰州化学物理研究所	发明（设计）人	张俊彦;王兆龙;张斌;高凯雄;王永富;王彦
主分类号	C23C16/26(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/26(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I
专利有效期	一种高压干气密封装置用分形织构化碳膜的制备方法至一种高压干气密封装置用分形织构化碳膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种高压干气密封装置用分形织构化碳膜的制备方法。本发明通过分形织构与碳基薄膜相结合的一体化技术，即利用激光加工技术实现织构图形的构筑；利用等离子增强化学气相沉积技术来实现碳基薄膜的沉积，通过两者的协同耦合作用，来实现高压干气密封装置用分形织构化碳膜的制备。本发明所制备的高压干气密封装置用的分形织构化碳膜具有超低摩擦系数、超低磨损、高承载能力、长寿命等优异的综合性能，可大幅度提高高压干气密封的使用寿命。