专利详情

专利名称	准分子激光器窗片的更换装置和更换方法
申请号	CN201810070856.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108183382A	公开（授权）日	2018.06.19
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	郭馨;丁金滨;刘斌;张立佳;白路军;王宇;崔惠绒
主分类号	H01S3/034(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/034(2006.01)I;H01S3/03(2006.01)I
专利有效期	准分子激光器窗片的更换装置和更换方法至准分子激光器窗片的更换装置和更换方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明一种涉及准分子激光器窗片的更换装置及其更换方法，包括一端开口的更换主腔体，更换主腔体的腔壁设有多个用于观测更换主腔体内部的观察窗、用于检测更换主腔体内部气压的气压计、抽真空通道、充气通道、多个指套孔和窗片室，抽真空通道和充气通道与更换主腔体内部相通，指套孔密封配有方便在更换主腔体内部进行窗片更换的操作指套。本发明能够显著降低准分子激光器窗片更换过程中卤素介质的扩散现象，能够有效避免零部件在大气暴露中发生污染，并可有效减少放电腔清洗的次数及其对操作人员的危害，免除钝化工艺或显著减少钝化时间，提高激光器的使用效率和能源的使用率。