专利详情

专利名称	一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用
申请号	CN201611105094.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108147983A	公开（授权）日	2018.06.12
申请（专利权）人	中国科学院化学研究所	发明（设计）人	杨国强;袁华;许箭;彭晓曼;王亮乾;王双青
主分类号	C07C309/04(2006.01)I	IPC主分类号	C07C309/04(2006.01)I;C07C303/32(2006.01)I;C07D333/18(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用至一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一类硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶及其制备方法和应用。所述硫鎓盐键合苯多酚型分子玻璃光刻胶是立体不对称的无定形小分子化合物，具有较高的熔点和玻璃化转变温度(熔点均高于100℃)，能够满足光刻技术要求，在高温烘烤中薄膜结构无变化。该类化合物可以单独或与其他光刻胶、光致产酸剂、交联剂等复配成正性或负性光刻胶，在基片上通过旋涂法可制得厚度均匀的光刻胶涂层。该光刻胶配方可用于365nm光刻、248nm光刻、193nm光刻、极紫外光刻及电子束光刻等现代光刻技术中，尤其适用于极紫外光刻工艺中。