SOF2和SOF4气体制备方法及系统
- 申请号:CN201711386085.1
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院上海有机化学研究所
- 公开(公开)号:CN108128758A
- 公开(公开)日:2018.06.08
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | SOF2和SOF4气体制备方法及系统 | ||
申请号 | CN201711386085.1 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN108128758A | 公开(授权)日 | 2018.06.08 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海有机化学研究所 | 发明(设计)人 | 董佳家;柯森;李苏华 |
主分类号 | C01B17/45(2006.01)I | IPC主分类号 | C01B17/45(2006.01)I |
专利有效期 | SOF2和SOF4气体制备方法及系统 至SOF2和SOF4气体制备方法及系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明涉及工业化工生产的技术领域,公开了一种SOF2气体和SOF4气体的制备方法及其系统,所述SOF4气体的制备系统包括SOF2进气管道、氟气管道、SOF4反应釜及控温装置;所述SOF4气体的制备方法包括以下步骤:步骤1:将SOF2气体通入SOF4反应釜中;步骤2:低温条件下,所述SOF4反应釜通入适量氟气;步骤3:所述SOF4反应釜升温到室温并反应一定时间后,获得SOF4气体;其中,步骤1和步骤2的顺序可互换。实施本发明的有益效果主要是:首次提出一种低成本且易于放大量生产制备高纯度SOF4气体的制备方法及其系统,可以实现室温釜式公斤级SOF4气体的制备,产品的气相纯度可以达到99.5%。 |
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