专利详情

专利名称	一种基于杂散光抑制角的挡光环设置方法
申请号	CN201711436174.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108073014A	公开（授权）日	2018.05.25
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	李朝辉;赵建科;徐亮;刘峰;李晓辉;于敏;张玺斌;伍建军
主分类号	G03B11/04(2006.01)I	IPC主分类号	G03B11/04(2006.01)I
专利有效期	一种基于杂散光抑制角的挡光环设置方法至一种基于杂散光抑制角的挡光环设置方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于光学系统杂散光抑制设计领域，涉及到一种基于杂散光抑制角的挡光环设置方法。该设置方法主要依据遮光罩内壁喷涂的消光漆属性，以及整个光学系统的最小杂散光抑制角，通过合理的设计布置，达到在抑制角处点源透过率PST值最小的目的。本发明先确定遮光罩内壁喷消光黑漆类型，然后对该类型的消光黑漆表面属性进行测试，根据测试结果获得不同入射角度条件下消光黑漆的吸收属性，选取消光黑漆吸收率最高条件下的入射角度α，作为挡光环的倾斜参考角度，在一级挡光环的环尖坐标点A确定之后，将挡光环倾斜角度β设置为90°?(α+θ)，即可获得该抑制角下最优的PST数值。