专利详情

专利名称	适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统
申请号	CN201711393247.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108040415A	公开（授权）日	2018.05.15
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	许吉禅;王亮;徐国盛;刘建斌;冯威
主分类号	H05H1/00(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/00(2006.01)I
专利有效期	适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统至适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种适用于钨铜靶板的集成模块化探针系统，包括有钨铜靶板和探针组件。钨铜靶板为钨片、无氧纯铜适应层和铬锆铜基座焊接而成，铬锆铜基座内被中间隔座隔分为两个水冷管道，水冷管道与连接铜管、进水铜管和出水铜管焊接连接而成。探针组件包括有探针头、前端陶瓷圈、铜连接件、后端陶瓷圈、弹簧垫圈、顶紧螺钉、接线螺钉和导线，安装于铬锆铜基座内的探针孔中，其中探针头可采用钨铜或纯石墨结构。本发明采用集成模块化结构，充分利用靶板空间，可整体拆装，无焊接固定结构，拆卸维修时对靶板无损坏的风险；探针系统结构简单、紧凑，空间分辨率更高；提高了探针系统测量精度。