专利详情

专利名称	一种二氧化钒复合薄膜及其制备方法
申请号	CN201610935366.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108018532A	公开（授权）日	2018.05.11
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	金平实;龙世伟;包山虎;曹逊;周怀娟
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I
专利有效期	一种二氧化钒复合薄膜及其制备方法至一种二氧化钒复合薄膜及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种二氧化钒复合薄膜及其制备方法，包括基板、依次形成于所述基板表面的第一保护增透层、二氧化钒调光层和第二保护增透层，所述第一保护增透层或/和第二保护增透层的化学式为WO_3?x（0＜x＜0.9）或M_yWO₃（0＜y≤1），M为Cs、Rb、K、Na、Li、Be、Mg、Ca、Sr和Ba中的至少一种。本发明选用WO_3?x或M_yWO₃，作为位于所述二氧化钒调光层两侧的第一保护增透层和第二保护增透层。其中WO_3?x或M_yWO₃，其光学常数n与二氧化钒薄膜匹配，n=2.0?2.4，可以达到光学设计调光。