专利详情

专利名称	一种基于钯镍合金薄膜的声表面波氢气传感器
申请号	CN201710646178.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107632066A	公开（授权）日	2018.01.26
申请（专利权）人	中国科学院声学研究所	发明（设计）人	王文;梅盛超;刘鑫璐;梁勇
主分类号	G01N29/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01N29/02(2006.01)I
专利有效期	一种基于钯镍合金薄膜的声表面波氢气传感器至一种基于钯镍合金薄膜的声表面波氢气传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种基于钯镍合金薄膜的声表面波氢气传感器，包括：气室(2)、气泵(3)、气管(4)、差分式振荡电路板(1)和两个平行且同向设置于气室(2)内的声表面波延迟线；所述的气泵(3)通过气管(4)与气室(2)连接；在其中一个声表面波延迟线的声表面波传播路径上设置有钯镍合金薄膜；所述的差分式振荡电路板(1)用于将两个声表面波延迟线经氢气作用后输出的电信号进行混频处理，将生成的差频信号作为传感器的输出结果。本发明通过采用一种平行且同向设置的双延迟线型结构，将有助于改善氢气传感系统的温度稳定性，并且获得更高的检测灵敏度；同时通过采用钯镍合金薄膜作为敏感膜来提高声表面波氢气传感器的检测速度。