专利详情

专利名称	纳米金属颗粒阵列结构的制备方法
申请号	CN201710824969.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107620038A	公开（授权）日	2018.01.23
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	孔明光;吴兵;刘玲
主分类号	C23C14/20(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/20(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;C23C14/46(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	纳米金属颗粒阵列结构的制备方法至纳米金属颗粒阵列结构的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种纳米金属颗粒阵列结构的制备方法，属于纳米电化学技术领域，包括以下步骤：S1、选取离子溅射仪，安放在载样台上，矫正离子溅射仪；S2、以聚苯乙烯小球作为模板，以金属靶材为初始材料，将聚苯乙烯小球置于载样台上，旋转载样台，然后通电将金属靶材蒸镀到聚苯乙烯小球表面；S3、将蒸镀后的聚苯乙烯小球进行加热，升温至600?700℃保温，即在聚苯乙烯小球表面沉积纳米金属颗粒阵列；S4、溶解聚苯乙烯小球，即得到金属纳米颗粒有序阵列。该纳米金属颗粒阵列结构通过溅射旋转状态下的聚苯乙烯小球，以达到在聚苯乙烯小球表面镀膜的纳米颗粒阵列结构间距在20nm以下进行调整。