专利详情

专利名称	基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统
申请号	CN201710735440.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107607045A	公开（授权）日	2018.01.19
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	李文昊;吕强;巴音贺希格;宋莹;刘兆武;王玮
主分类号	G01B11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/02(2006.01)I
专利有效期	基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统至基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统，包括双频激光器(1)、读数头(2)、测量光栅(3)、接收器(4)和(5)、信号处理系统(6)，双频激光器(1)发出的激光入射到读数头(2)中，经过读数头(2)中的光学元件，入射激光会形成两组测量光束，每组测量光束以满足光栅方程的利特罗角入射到测量光栅(3)上，当测量光栅(3)沿光栅矢量方向运动时，携带测量信息的衍射光会按原路返回，经过读数头(2)中的光学元件形成两路测量信号，分别被接收器(4)和接收器(5)接收，并进入信号处理系统。本发明是一种不需要多个读数头排列结构紧凑，体积小，对环境敏感性低，可以降低环境控制成本，提升系统性能。