专利详情

专利名称	一种半导体激光器及其制作方法
申请号	CN201710897713.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107611775A	公开（授权）日	2018.01.19
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	贾鹏;陈泳屹;秦莉;张建伟;宁永强;王立军
主分类号	H01S5/12(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/12(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I;H01S5/34(2006.01)I
专利有效期	一种半导体激光器及其制作方法至一种半导体激光器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种半导体激光器及其制作方法，该半导体激光器包括：衬底，具有相对的第一表面以及第二表面；位于第一表面的图案化的外延功能层，外延功能层在第一方向上依次划分为高阶光栅耦合脊型波导、光波分束波导、脊型增益阵列波导以及自组织相干合束波导；高阶光栅耦合脊型波导产生单频单模的种子光源；光波分束波导位于高阶光栅耦合脊型波导出射光线的一端，将种子光源分束为多路激光；脊型增益阵列波导位于光波分束波导出射光线的一端，将多路激光进行增益放大；自组织相干合束波导位于脊型增益阵列波导出射光线的一端，将经过增益放大后的多路激光进行相干合成为一束输出光。本发明技术方案提高了输出光束的光束质量以及亮度。