专利详情

专利名称	加热托盘的固定控制装置及其设备
申请号	CN201710728515.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107523807A	公开（授权）日	2017.12.29
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	王晓亮;梅书哲;肖红领;王权;殷海波;李巍;姜丽娟
主分类号	C23C16/46(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/46(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I
专利有效期	加热托盘的固定控制装置及其设备至加热托盘的固定控制装置及其设备	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种加热托盘的固定控制装置及其设备。其中，加热托盘的固定控制装置包括：旋转轴；螺旋加热丝，设置于旋转轴外围，与旋转轴之间存在间隔；托盘，位于旋转轴正上方；以及铁磁体，固定于托盘内，位于托盘中央区域。通过在旋转轴外围设置与旋转轴存在间隔并构成电磁铁结构的螺旋加热丝，通过控制螺旋加热丝电流的通断，便可实现对托盘与旋转轴的固定状态控制，结构简单，取放控制方便；同时还可以通过调节螺旋加热丝的电流的大小，实现对托盘中央区域的加热控制，从而满足不同大小的托盘、不同生长温度的需求，可有效改善托盘的温度均匀性。