
一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用
- 申请号:CN201710128009.4
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院上海硅酸盐研究所
- 公开(公开)号:CN108529885A
- 公开(公开)日:2018.09.14
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用 | ||
申请号 | CN201710128009.4 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN108529885A | 公开(授权)日 | 2018.09.14 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明(设计)人 | 刘志甫;陈冠羽;李永祥;马名生 |
主分类号 | C03C8/24(2006.01)I | IPC主分类号 | C03C8/24(2006.01)I;C03C14/00(2006.01)I;C03C10/12(2006.01)I;H01L23/15(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
专利有效期 | 一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用 至一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明涉及一种可阳极键合LTCC材料及其制备方法和应用,可阳极键合LTCC材料包含:70~50?wt%的β?LiAlSi2O6微晶玻璃和30~50?wt?%的β?Al2O3陶瓷。本发明与现有的可阳极迁移LTCC材料相比实现半导化的温度低100℃,其键合温度有望降至200℃,键合电压有望降至500?V。 |
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