一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法
- 申请号：CN201711381341.8
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院合肥物质科学研究院
- 公开(公开)号：CN108286039A
- 公开(公开)日：2018.07.17
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法 | ||
| 申请号 | CN201711381341.8 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN108286039A | 公开（授权）日 | 2018.07.17 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 杨俊峰;方前锋;杨瑞芳;王先平;张涛;庄瑞斌;宰广平;程帜军 |
| 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法 至一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 |
本发明公开了一种氮化钼基梯度多元纳米多层涂层及其制备方法，该涂层设于各种不同成分的基体上，其结构为A?Mo/Mox1Ay1N1?x1?y1/(Mox3Aly3N(1?x3?y3)/Mox4Aly4Siz4N(1?x4?y4?z4))n，其中，A为基体所含的主要元素，0 | ||
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