专利详情

专利名称	一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置
申请号	CN201611151863.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108226574A	公开（授权）日	2018.06.29
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	曾华荣;徐琨淇;赵坤宇;陈立东;李国荣
主分类号	G01Q60/58(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/58(2010.01)I
专利有效期	一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置至一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本申请公开了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，用于实现一被测热电材料样品亚表面热电优值因子行为的高分辨显微成像，包括：亚表面热电信号原位激发模块，用于原位激发被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号；热电信号原位检测模块，用于对被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号进行原位实时检测；热电信号显微成像模块，用于对亚表面热电优值因子信号的高分辨显微成像并显示。本申请的具有亚表面热电信号原位激发、原位同步表征的独特功能，且具有高分辨率、高灵敏度、高信噪比、测试直接等优点。本申请的关键技术装置结构简单、兼容性强，适与不同商用扫描电子显微镜系统相结合，是一项易于推广和应用的新技术。