专利详情

专利名称	一种红外探测器及其制备方法
申请号	CN201611161550.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108231923A	公开（授权）日	2018.06.29
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	黄勇;熊敏;杨辉
主分类号	H01L31/0304(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I
专利有效期	一种红外探测器及其制备方法至一种红外探测器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及半导体技术领域，尤其是一种红外探测器，从下至上依次包括：GaSb衬底、n型InAsSb吸收层、AlAsSb势垒层、n型超晶格收集层以及二维光栅；还包括设置在所述n型InAsSb吸收层上端面的下电极，以及设置于所述n型超晶格收集层上端面的上电极。本发明还提供这种红外探测器的制备方法。本发明提供的锑化物红外探测器具有超薄的吸收层和表面光栅结构，在降低探测器暗电流的同时保证了探测器的量子效率，能有效提高器件的工作温度。