专利详情

专利名称	一种真空抽气系统
申请号	CN201711130898.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108131274A	公开（授权）日	2018.06.08
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	李军;凌必利;胡纯栋;吴斌;张洪明;吕波;谢远来;谢亚红;韦江龙;顾玉明;许永建;蒋才超;盛鹏
主分类号	F04B37/14(2006.01)I	IPC主分类号	F04B37/14(2006.01)I;F04B39/00(2006.01)I
专利有效期	一种真空抽气系统至一种真空抽气系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种真空抽气系统，包括有等离子体腔室、等离子驱动源、真空泵和多段连接管道，真空泵的进气管与被抽工件之间通过真空管道连接，且真空管道上设置等离子体腔室，等离子体腔室内在等离子体驱动源的激励作用下产生等离子体，其产生的等离子体裂解真空管道内的大分子物质,并通过真空泵抽出形成抑制返油的真空抽气系统，等离子驱动源为微波发生器或射频电源或微波发生器与射频电源的组合，等离子体腔室与微波发生器之间通过波导管连接，与射频电源之间通过驱动电路连接，与微波发生器和射频电源的组合之间通过二者的组合连接。本发明利用等离子体发生器与真空泵技术组合成一种新真空抽气系统，工作过程中耗能低，不需要其他工作介质。