专利详情

专利名称	一种用于真空镀膜的螺杆传送装置
申请号	CN201711219101.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108085647A	公开（授权）日	2018.05.29
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所;包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司;包头希迪瑞科技有限公司	发明（设计）人	宋振纶;胡方勤;丁雪峰;杨丽景;郑必长;张青科;姜建军
主分类号	C23C14/32(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/32(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I
专利有效期	一种用于真空镀膜的螺杆传送装置至一种用于真空镀膜的螺杆传送装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于真空镀膜的螺杆传送装置，包括：样品台，与真空镀膜设备的真空镀膜腔体配合；传送模块，安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区；动力源，固定在真空镀膜腔体外部；第一传动连接件，一端与所述动力源连接，另一端伸入所述真空镀膜腔体内与所述传送模块可拆卸传动连接；其特征在于，所述传送模块包括：螺杆，转动安装在所述样品台上，所述螺杆的螺纹作为物料槽；光杆，安装在所述样品台上位于所述螺杆的一侧以共同支撑物料；第二传动连接件，一端与所述螺杆传动连接，另一端与所述由所述传动连接件可拆卸传动连接；本发明可实现一次多面镀膜，无需翻面，减少开箱和再次抽真空时间，大大提高了效率，且整体结构简单、加工成本低。