专利详情

专利名称	精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法
申请号	CN201711098310.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108036720A	公开（授权）日	2018.05.15
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	唐锋;王向朝;卢云君;张国先;冯鹏
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I
专利有效期	精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法至精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、待测精密转台和反射球面光学元件；所述的反射球面光学元件安装在待测精密转台上，待测精密转台的旋转轴通过反射球面光学元件的标准球面的曲率中心；通过波面测量干涉仪测量结果是Fringe?Zernike多项式第Z2(X倾斜)、Z3(Y倾斜)，和Z4(离焦)项的系数，计算反射球面光学元件曲率中心与波面测量干涉仪输出球面光波的汇聚中心间的偏离，精确得到待测精密转台轴向与径向跳动。本发明具有装置结构简单、操作方便、测量精度不依赖于标准样品精度的优点。