专利详情

专利名称	用于多探针STM的分时复用控制装置及包括其的多探针STM
申请号	CN201711090168.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107907712A	公开（授权）日	2018.04.13
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	郇庆;严佳浩;鲍丽宏;高鸿钧
主分类号	G01Q60/16(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/16(2010.01)I;G01Q60/10(2010.01)I
专利有效期	用于多探针STM的分时复用控制装置及包括其的多探针STM 至用于多探针STM的分时复用控制装置及包括其的多探针STM	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种用于多探针STM的分时复用控制装置及包括其的多探针STM，所述分时复用控制装置包括：与每个前置放大器的输出端相连的一个切换子单元，每个切换子单元连接至STM控制单元和对应的STM探针；与每个切换子单元相连的一个采样保持子单元；以及切换控制装置，其用于控制每个切换子单元将相连的前置放大器输出的电压信号输出至相连的一个采样保持子单元或STM控制单元，将相连的一个采样保持子单元输出的电压和/或STM控制单元输出的扫描管驱动电压输出至对应的STM探针的扫描管控制端，以及将STM控制单元输出的粗进针驱动电压输出至对应的STM探针的粗进针控制端。本发明的分时复用控制装置能够实现STM控制单元的分时复用，减少了STM控制单元的数量。