专利详情

专利名称	基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法
申请号	CN201710734786.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107462166A	公开（授权）日	2017.12.12
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	李文昊;吕强;巴音贺希格;宋莹;刘兆武;王玮
主分类号	G01B11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/02(2006.01)I
专利有效期	基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法至基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法，双频激光器发出的激光入射到读数头中，经过读数头中的光学元件，入射激光会形成两组测量光束，每组测量光束以满足光栅方程的利特罗角入射到测量光栅上，测量光栅由多块光栅沿光栅矢量方向拼接而成。当测量光栅沿光栅矢量方向运动时，携带测量信息的衍射光按原路返回，经过读数头中的光学元件形成两路测量信号，分别被两个接收器接收，并进入信号处理系统。在测量过程中，随着光栅的运动，两个接收器至少一个可以接收到测量信号，从而实现了长行程的位移测量。本发明不需要多个读数头便可完成长行程位移测量，结构紧凑，体积小，对环境敏感性低，可以降低环境控制成本，提升测量性能。