专利详情

专利名称	一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法
申请号	CN201710279359.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107144210A	公开（授权）日	2017.09.08
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	张利斌;韦亚一
主分类号	G01B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B7/02(2006.01)I;G01B7/34(2006.01)I
专利有效期	一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法至一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明属于扫描电子显微测量技术领域，公开了一种电子显微图像线条宽度和粗糙度的测量方法包括：获得待测线条结构的扫描电子显微图像；截取第一区域；沿线条方向平均化处理，获得线条边缘像素分布曲线；根据所述线条边缘像素分布曲线，确定第一边界区域；局域像素分析，获得边界分布；根据所述边界分布，计算待测线条的宽度和粗糙度，提取待测线条宽度和粗糙度数值。本发明解决了现有技术中测量线条宽度和粗糙度工作量较大、存在人为干预造成的测量误差且只能分析有限个数据点的问题，达到了提高测量的准确性和可靠性，节省工程师实际量测时间和成本的技术效果。