专利详情

专利名称	一种用于气相包覆的装置和方法
申请号	CN201610070096.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107022751A	公开（授权）日	2017.08.08
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	刘柏男;褚赓;陆浩;罗飞;郑杰允;李泓
主分类号	C23C16/44(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/44(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I
专利有效期	一种用于气相包覆的装置和方法至一种用于气相包覆的装置和方法	法律状态	专利申请权、专利权的转移
说明书摘要	本发明涉及一种用于气相包覆的装置，包括用于盛放液体前躯体的罐体，其顶部设置有进气管、进液管和出气管，其底部设置有加热板；出气管设置有喷头，喷头插入反应腔体的一侧中，反应腔体的另一侧通过冷凝装置与引风设备连接；液体前躯体通过进液管进入到罐体内，在罐体内挥发形成气体后，和通过进气管进入罐体的气体混合，再进入出气管，并由喷头喷入到反应腔体内，与反应腔内的包覆对象进行包覆反应；在包覆反应过程中，由冷凝装置冷凝反应腔体内产生的尾气，及由引风设备将未冷凝的气体及时排出。同时本发明还提供了进行气相包覆的方法。采用本发明中的装置和方法能够实现快速、定量且高度安全可控的使用液相或气液复合前驱体的气相包覆。