专利详情

专利名称	平面镜面形检测方法及装置
申请号	CN201711181581.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107869965A	公开（授权）日	2018.04.03
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	安其昌;张景旭;杨飞;赵宏超
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	平面镜面形检测方法及装置至平面镜面形检测方法及装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种平面镜面形检测方法及装置，该方法包括：将待检平面镜固定于平面镜检测台，待检平面镜的镜面划分为多个子孔径，相邻的子孔径间具有交叠区域；利用标准球面反射镜和球面干涉仪，采用瑞奇?康芒法分别测量各个子孔径的面形数据，得到各个子孔径的面形数据；将各个子孔径的面形数据进行拼接，得到待检测平面镜的面形数据。本发明将瑞奇?康芒法与子孔径法结合，将大口径的待检平面镜的镜面划分为多个子孔径，利用瑞奇?康芒法的原理，采用小口径的标准球面反射镜对各个子孔径的面形数据进行测量，将各个子孔径的面形数据进行拼接，得到待检测平面镜整体的面形数据，在不增加检测成本的基础上，实现了大口径平面镜的面形检测。