专利详情

专利名称	一种倾斜反射镜系统
申请号	CN201711077081.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107797271A	公开（授权）日	2018.03.13
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	马晓燠;杨奇龙;饶长辉;鲜浩;魏凯
主分类号	G02B26/08(2006.01)I	IPC主分类号	G02B26/08(2006.01)I
专利有效期	一种倾斜反射镜系统至一种倾斜反射镜系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种倾斜反射镜系统，包括：主控制器，用于根据目标偏转角度生成第一控制信号控制第一驱动装置产生微位移以带动反射镜装置以第一角度偏转；第一测量装置，用于根据第一驱动装置产生的第一位移得到反射镜装置的第一偏转角度；主控制器还用于，在检测到第一偏转角度与目标偏转角度不匹配时，根据第一偏转角度与目标偏转角度的差值生成第二控制信号控制第二驱动装置产生微位移以带动反射镜装置以第二角度偏转；反射镜装置，用于经过第一角度偏转和第二角度偏转对入射光进行实时反射校正，以在周期迭代后使得入射光的偏转角度达到目标偏转角度，实现了高精度、高带宽、大行程的角度倾斜校正，实用性较佳。