专利详情

专利名称	全息观测透射电镜试样的制备方法
申请号	CN201710082405.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106908290A	公开（授权）日	2017.06.30
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	杜海峰;金驰名;田明亮
主分类号	G01N1/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01N1/28(2006.01)I
专利有效期	全息观测透射电镜试样的制备方法至全息观测透射电镜试样的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种全息观测透射电镜试样的制备方法。它先于待测样品的表面溅射100?500nm厚的由粒径10?50nm的金属颗粒组成的金属弱吸附层，或涂敷100?500nm厚的有机胶弱吸附层，再于金属弱吸附层或有机胶弱吸附层的表面沉积500nm?4μm厚的含有机物的保护层，之后，先使用聚焦离子束将观察区域的待测样品切割成30?150nm厚的透射薄片，再将透射薄片的两端切割至待测样品处，得到透射电镜样品，最后，先使用聚焦离子束清理透射电镜样品表面的非晶层，再将其顶端的金属弱吸附层或有机胶弱吸附层连同含有机物的保护层剥离，制得目的产物。它可用作电子全息探测的TEM样品，广泛地用于获取样品的电场分布和磁场分布的本征电子全息信息。