专利详情

专利名称	一种超导腔氮掺杂方法
申请号	CN201711479415.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108277450A	公开（授权）日	2018.07.13
申请（专利权）人	中国科学院高能物理研究所	发明（设计）人	沙鹏;刘佰奇;董超;郑洪娟;米正辉;翟纪元
主分类号	C23C8/24(2006.01)I	IPC主分类号	C23C8/24(2006.01)I;C23C8/02(2006.01)I;C23F3/06(2006.01)I
专利有效期	一种超导腔氮掺杂方法至一种超导腔氮掺杂方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种超导腔氮掺杂方法。本方法为：1)将超导腔整体放入超声清洗池进行清洗，再用纯水将超导腔内、外均冲洗干净、晾干；然后对超导腔的内表面进行缓冲化学抛光；然后清洗超导腔内表面、晾干；2)将步骤1)处理后的所述超导腔放入真空炉中进行加热，加热至设定温度后，在该设定温度和压力对真空炉进行除氢处理；3)除氢处理结束后，将真空炉的抽气阀门关闭，注入高纯氮气且真空炉内压力保持在2～4Pa，将氮掺入超导腔表面；4)氮气注入结束后，对真空炉进行除氮气处理；5)除氮气处理结束后，对真空腔保温设定时间，完成超导腔的氮掺杂。本发明能够进一步降低超导腔的表面电阻，从而减小超导腔的功耗。