专利详情

专利名称	一种具有金属绝缘体转变功能的器件的制备方法
申请号	CN201710557648.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107359240A	公开（授权）日	2017.11.17
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	李润伟;薛武红;刘钢
主分类号	H01L45/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01L45/00(2006.01)I
专利有效期	一种具有金属绝缘体转变功能的器件的制备方法至一种具有金属绝缘体转变功能的器件的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种具有金属绝缘体转变功能的器件的制备方法，该方法采用由底电极/高价金属氧化物/顶电极构成的三明治结构器件，该高价金属氧化物中的金属元素是具有多价态的元素，且其低价氧化物具有金属绝缘体转变特性；通过在电场作用下驱动该高价稳定金属氧化物中的氧离子迁移以及微区电退火的方法，在高价金属氧化物体相中形成具有金属绝缘体转变功能的低价金属氧化物，从而制得具有金属绝缘体转变功能的器件。与现有技术相比，该方法简单有效，制得器件的金属绝缘体转变均一、迅速、低能。