专利详情

专利名称	电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法
申请号	CN201710125859.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106840051A	公开（授权）日	2017.06.13
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	白震;梁鑫;魏劲松
主分类号	G01B11/30(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/30(2006.01)I
专利有效期	电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法至电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法，包括自动聚焦光路的构建，自动检测算法的实现，对电机位移平台运动平整度的测量，数据的记录和拟合等步骤。通过激光、四象限探测器、像散透镜等构建一个自动聚焦光路，通过算法编程实现自动检测。当电机位移平台开始移动的时候，通过自动检测系统检测电机平台在运动过程中上下振动的幅度，记录并绘制位移平台在不同位置的振动幅度。本发明简单实用，操作便捷，实现了在非接触式的情况下对电机位移平台运动平整度的测量，具有很高的应用价值。