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电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法

  • 申请号:CN201710125859.9
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN106840051A
  • 公开(公开)日:2017.06.13
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法
申请号 CN201710125859.9 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN106840051A 公开(授权)日 2017.06.13
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 白震;梁鑫;魏劲松
主分类号 G01B11/30(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/30(2006.01)I
专利有效期 电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法 至电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 电机位移平台运动平整度的非接触式测量装置及测量方法,包括自动聚焦光路的构建,自动检测算法的实现,对电机位移平台运动平整度的测量,数据的记录和拟合等步骤。通过激光、四象限探测器、像散透镜等构建一个自动聚焦光路,通过算法编程实现自动检测。当电机位移平台开始移动的时候,通过自动检测系统检测电机平台在运动过程中上下振动的幅度,记录并绘制位移平台在不同位置的振动幅度。本发明简单实用,操作便捷,实现了在非接触式的情况下对电机位移平台运动平整度的测量,具有很高的应用价值。

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