专利详情

专利名称	一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法
申请号	CN201810326897.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108660426A	公开（授权）日	2018.10.16
申请（专利权）人	中国科学院生物物理研究所;北京大学	发明（设计）人	黄小俊;张雷;季刚;孙飞;尹长城
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I
专利有效期	一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法至一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种镍钛非晶合金微阵列支持膜的制备方法，包括以下步骤：将带有微阵列孔的模板通过真空喷镀一层亲水剂；采用喷镀或磁控溅射的方法，对表面带有亲水剂的所述模板的表面上沉积一层镍钛合金薄膜；通过将沉积有所述镍钛合金薄膜的所述模板放入水中，进行所述模板与所述镍钛合金薄膜之间的分离；将与所述模板分离后的所述镍钛合金薄膜从水中取出，再进行室温静置干燥后，即可得到镍钛非晶合金微阵列支持膜。本发明通过将带有微阵列孔的模板真空喷镀一层亲水剂，来使模板和在其表面沉积的镍钛合金薄膜能够在水中进行分离，来得到镍钛非晶合金微阵列支持膜，进而打破了制备镍钛非晶合金微阵列支持膜的技术空白。