专利详情

专利名称	一种采用三点支撑检测光学元件的方法
申请号	CN201810132280.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108534669A	公开（授权）日	2018.09.14
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	尹小林;胡海翔;邓伟杰;唐瓦;薛栋林;张峰;张学军
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I
专利有效期	一种采用三点支撑检测光学元件的方法至一种采用三点支撑检测光学元件的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明实施例公开了一种采用三点支撑检测光学元件的方法。该三点支撑检测光学元件的方法包括根据光学元件尺寸及有限元分析结果，确定三个支撑点的位置及放置所述光学元件所需的基准面的位置；将所述光学元件参照所述基准面的位置放置于检测装置上；采用修正有限元分析模型的面形检测方法检测所述光学元件。该三点支撑检测光学元件的方法不仅解决了现有多点支撑检测超薄型光学元件的检测方法高成本、难操作等问题；优选地，还解决了在检测过程中由于重力及机械振动等原因而引入检测误差的问题。