专利详情

专利名称	平板类光学元件环形抛光面形精调方法
申请号	CN201711330838.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN108177027A	公开（授权）日	2018.06.19
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	杨明红;邵建达;张弛豪;吴伦哲;徐学科
主分类号	B24B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B24B1/00(2006.01)I;B24B13/00(2006.01)I
专利有效期	平板类光学元件环形抛光面形精调方法至平板类光学元件环形抛光面形精调方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种平板类光学元件环形抛光面形精调方法，利用平板类光学元件在环抛过程中的热变形来调节其反射/透射面形变化，在抛光模面形保形期创造一种快速、可控的元件面形高低转化，能够大幅提升该类元件环形抛光反射/透射波前分布控制效率。本发明特别适用于热膨胀系数大、易变形的平板类光学元件，如400mm口径激光钕玻璃片状元件，有效克服了该类元件环形抛光过程中面形控制的不确定性，米量级平板类光学元件的加工精度，面形PV优于1/5λ(λ＝632.8nm)，GRMS优于1/90λ。