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双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法

  • 申请号:CN201711287015.0
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中科院南京天文仪器有限公司
  • 公开(公开)号:CN107830937A
  • 公开(公开)日:2018.03.23
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法
申请号 CN201711287015.0 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN107830937A 公开(授权)日 2018.03.23
申请(专利权)人 中科院南京天文仪器有限公司 发明(设计)人 林冬冬;李金鹏;胡明勇;毛羽西;朱庆生;毕勇;郑锋华;李季
主分类号 G01J9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/02(2006.01)I
专利有效期 双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法 至双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法,包括分束光栅、第一偏振片、点衍射板PDP、第二偏振片、平面镜、合束光栅、空间移相组件、CCD图像传感器;双光栅偏振点衍射装置采用分束光栅进行分光,以实现后续光路的相干光调制;采用合束光栅形成共光路结构,以实现检测装置的光干涉,相干光经准直物镜入射到空间移相组件中,最后在CCD图像传感器上采集到移相量相差90°的空间移相干涉图,采用移相算法解算待测波前。

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