专利详情

专利名称	一种凸非球面反射镜面形检测装置及检测方法
申请号	CN201710911238.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107796329A	公开（授权）日	2018.03.13
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王孝坤;张海东;薛栋林;张学军
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种凸非球面反射镜面形检测装置及检测方法至一种凸非球面反射镜面形检测装置及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种凸非球面反射镜面形检测装置及检测方法，在保证检测精度的情况下，能够用小尺寸的CGH补偿器实现对大口径(口径200mm以上)的凸非球面反射镜的检测。本发明装置通过透镜将光束汇聚，使得采用的CGH补偿器的口径很小，CGH补偿器能在高精度的加工尺寸范围内实现对大口径凸非球面反射镜面形的高精度检测。本发明方法，将CGH补偿器对波前的相差补偿作用和透镜对光束的汇聚作用两者相结合，用小尺寸的CGH补偿器实现对大口径凸非球面反射镜的检测，解决了传统CGH补偿检测法只能检测中小口径凸非球面反射镜面形的难题。相比传统的凸非球面反射镜面形检测方法，本发明的检测方法能够检测各种曲面类型的凸非球面反射镜。